近日,沙钢集团抚顺特钢联合中国科学院金属研究所历经五年联合攻关,经过上千次试验,成功研制出半导体领域用超高纯不锈钢316LVV,顺利实现定制化生产,现已向国内十余家半导体设备企业稳定供货,标志着我国半导体关键核心材料国产化替代取得重要进展。
据了解,316LVV是在经典316L奥氏体不锈钢基础上开发的超高纯特种材料。区别于普通316L不锈钢“电弧炉 AOD”精炼工艺路线,该产品采用真空感应熔炼(VIM) 真空自耗重熔(VAR)双联真空熔炼工艺,可保障材料具备极高纯净度、优异耐腐蚀性能与良好综合力学性能。
半导体产业是国家重点发展的高端产业,超高纯金属材料是芯片制造不可或缺的重要基础。长期以来,半导体级316LVV核心制备技术与市场供给被海外企业垄断,是制约国内半导体装备产业链发展的关键卡点。过去十余年间,国内半导体设备企业在整机设计、电源控制系统等领域实现快速发展,但316LVV这类核心结构材料高度依赖进口,不仅采购周期长、采购成本高昂,还极易受国际贸易环境影响,面临供应链断供风险。
为彻底扭转这一局面,抚顺特钢组建专项科研攻关团队,并在辽宁省工业和信息化厅推动下,携手中国科学院金属研究所开展联合技术攻关。在双方共同努力下,成功研制出达到国外同类产品性能的316LVV超高纯不锈钢,双真空工艺达到6吨级,具备批量生产能力。
产品试制成功后,科研团队第一时间将样品交付下游半导体设备企业开展试用验证,结合现场反馈持续迭代优化生产工艺。经过一年多的持续改进,抚顺特钢可按照客户不同工况需求,定制化产出棒材、方材、扁材、异型材等多规格316LVV产品,产品工艺一致性、质量稳定性达到国际先进水平,产能规模位居国内前列。
抚顺特钢销售公司开发科相关负责人表示,相较进口同类产品,国产316LVV在纯净度、耐腐蚀性能方面提升10%以上,交货周期较进口材料缩短3个月以上,获得下游半导体设备企业充分认可,市场订单持续增长。
半导体超高纯不锈钢只是庞大半导体产业链中的一环,但无数关键材料的国产化突破,共同构筑起我国高端制造产业自主可控的坚固防线。抚顺特钢316LVV的国产化突破,是沙钢集团践行“钢铁报国”初心的生动注脚。这一突破不仅打破了国外技术封锁和供应垄断,更从根本上保障了国内半导体产业链的韧性与安全。
下一步,沙钢集团将继续落实创新、高效、品质、智慧、绿色、责任“六维”发展战略,深耕特钢领域,践行“特钢更特”发展方向,持续加大科研创新投入,聚力攻关更多关键特种材料,加快先进新材料研发与产业化落地,为中国制造高质量发展夯实材料根基。(张龙飞)
